蓄熱式焚化爐是指將工業有機廢氣進行燃燒凈化處理，并采用蓄熱體吸收、釋放燃燒熱量，對待處理廢氣進行換熱升溫、對凈化后氣體進行換熱降溫的裝置。能在高溫下將可燃廢氣氧化成對應的氧化物和水，從而達到凈化廢氣，并回收廢氣分解時所釋放出來的熱量的效果。以下就是蓄熱式焚化爐的工藝流程說明。
　　一、凈化后的高溫氣體離開氧化室，進入蓄熱室2（在前面的循環中已被冷卻）放熱降溫，之后進入換熱器進行熱能回用后經煙囪排入大氣，同時引小股凈化氣清掃蓄熱室3。而蓄熱室2吸收大量熱量后升溫，用于下一個循環加熱廢氣。
　　二、有用廢氣進入蓄熱室1的陶瓷蓄熱體（該陶瓷蓄熱體“貯存”了上一循環的熱量），陶瓷蓄熱體放熱降溫，而有用廢氣吸熱升溫。
　　三、廢氣離開蓄熱室后以較不錯的溫度進入氧化室，在氧化室中由VOCs氧化升溫或燃燒器加熱升溫至氧化溫度820℃，使其中的VOCs成分分解成二氧化碳和水。
　　四、循環完成后，進氣與出氣閥門進行一次切換，進入下一個循環，廢氣由蓄熱室2進入，蓄熱室3排出。在切換之后，清掃蓄熱室1。如此交替切換，實現連續處理VOCs廢氣。